半導体製造用の柔軟なグラファイト箔

半導体製造における多くのプロセスは、非常に高温で非常に腐食性の高い環境で実行され、そのプロセスは高温で清潔で塵のない環境で操作される必要があります。高純度グラファイトは、高温耐性、優れた電気伝導性と熱伝導性、安定した化学的特性を備えており、半導体製造の重要な材料となっています。

自然膨張黒鉛から作られた柔軟なグラファイト フォイルは、システムとプロセスのパフォーマンスを向上させ、エネルギー消費を最小限に抑え、信頼性を確保するために半導体アプリケーションで使用されます。

柔軟なグラファイトフォイルは、その並外れた性能により、不活性ガス雰囲気または真空環境下でも3000℃までの温度で使用できます。

熱伝導性、電気伝導性に優れているため、半導体製造装置の絶縁カートリッジ、絶縁材、可撓層、シール材などに幅広く使用されています。柔軟なグラファイトフォイルは、顧客の要件に応じてカスタマイズできます。

1. 天然黒鉛のウェーハ成長への応用

天然黒鉛は微結晶構造で熱伝導性に優れているため、ウェーハ成長プロセス中の良好な熱伝達媒体として使用でき、ウェーハの過度の加熱や熱応力によるクラックなどの問題を回避できます。同時に、天然黒鉛は紫外線照射などの方法で表面を改質することができ、ウェーハ成長プロセス中に発生する亀裂やその他の欠陥を防ぐことができます。

2. 半導体の熱管理における天然黒鉛の応用

半導体デバイスの動作中、電力などによりある程度の熱が発生します。これらの熱をタイムリーかつ効果的に除去できない場合、デバイスとその周囲の環境に悪影響を及ぼします。天然グラファイトは優れた熱伝導性材料として、半導体チップの周囲に熱チャネルを形成し、チップから発生した熱をタイムリーに効果的に伝達し、チップの正常な使用を保証します。

3. 天然黒鉛の半導体パッケージングへの応用

半導体デバイスのパッケージングの目的は、デバイスを環境の影響や機械的損傷から保護することです。天然グラファイトは半導体パッケージに広く使用されており、その導電性と化学的安定性により高性能のパッケージ材料を製造できます。さらに、天然黒鉛の結晶構造は優れた強度と剛性を備えているため、包装材料の性能を向上させ、信頼性と長期耐久性を向上させることができます。

要約すると、天然グラファイトは、その優れた導電率、熱伝導率、および化学的安定性のおかげで、ウェーハ成長、熱管理、パッケージングなどのさまざまな側面を含む、半導体分野で幅広い用途があります。将来的にも、半導体技術と応用分野の継続的な発展に伴い、天然黒鉛の応用の可能性は依然として非常に広いものとなるでしょう。